CVD气体扩散板

  • 可对应模式:新品/再生
  • 可适用世代:4.5G~10.5G
  • 同心轴:≤0.05mm
  • 薄膜工艺:草酸法
  • 膜厚:0.5~8μm
  • 粗糙度:1~5μm
  • 扩孔滤:≤0.015
  • 适用机台:AKT/ULVAC 等
咨询热线:0553-5856596
在线咨询
分享到: